光学表面缺陷分析仪:KLA-Tencor CS 920

 




Candela CS920

高灵敏度的外延晶片表面的缺陷检查
光致发光检测能力
使用多通道检测,根据缺陷轮廓把缺陷分类成外延堆垛层错、位错、胡萝卜、三角形、亚微米的凹坑等。
具有高吞吐量自动化工作模式
良率展示表现出衬底、外延缺陷与器件性能的相关性





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