生产设备-Aixtron 2800G4 WW

 




  Aixtron 2800G4 WW

      特点:
      Warm-wall(温壁)技术
      气体径流式的行星反应器 
      机械驱动加气体吹浮旋转  
      容量:
      10片(3inch or 4inch)/run  6片(6inch)




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