产品检测中心

 




检测中心:
       外延层厚度分析仪:傅利叶红外光谱仪FTIR
       外延层载流子浓度分析仪: 汞-CV
       表面粗糙度分析仪 :原子力显微镜 AFM

       光学表面缺陷分析仪:KLA-Tencor CS 920

       平整度测量仪: Tropel Flat Master 200
       Nomarski microscopy

 





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